沈桂芬
【姓名】 沈桂芬
【职称】 教授;
【研究领域】 无线电电子学;自动化技术;物理学;
【研究方向】 硅压力传感器的原理、应用、设计和研制
【发表文献关键词】 TMAH,多孔硅,各向异性,腐蚀速率,粗糙度,散射,内补偿,腐蚀液,晶向,压力传感器,线性度,硅杯,孔隙度,能量赝势法,硅压力传感器,腐蚀时间,非线,MEMS,量子限制模型,微机电系统加工工艺,研究与...
【工作单位】 辽宁大学
【曾工作单位】 辽宁大学;
【所在地域】 沈阳
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[1]沈桂芬,姚朋军,张宏,刘玲,张宏庆,范军.TMAH腐蚀液的研究[J]微电子学与计算机.2003,(10)
[2]沈桂芬,付世,丁德宏,姚朋军,张宏庆,范军,吕品.硅压力传感器的非线性分析及优化设计[J]传感技术学报.2003,(01)
[3]付世,丁德宏,姚朋军,单新华,沈桂芬.多孔硅形成机理研究的新进展[J]辽宁大学学报(自然科学版).2003,(01)
[4]沈桂芬,张宏庆,韩宇,范军,付世,丁德宏,姚朋军.微机电系统的研究与分析[J]传感技术学报.2004,(01)
[5]丁德宏,张宏,付世,姚朋军,范军,张宏庆,沈桂芬.多孔硅的能带与发光机制的研究与分析[J]辽宁大学学报(自然科学版).2004,(01)
[6]沈桂芬,范军,张宏庆,付世,丁德宏,姚朋军.多孔硅的能带变化及光致发光的研究[J]微电子学与计算机.2004,(04)
[7]张宏庆,张宏,范军,丁德宏,付世,沈桂芬.一种16位存储器版图的验证与参数提取[J]辽宁大学学报(自然科学版).2004,(04)
[8]范军,张宏,张宏庆,沈桂芬.动态CMOS多米诺逻辑电路的研究[J]辽宁大学学报(自然科学版).2005,(03)
[9]张宏,张宏庆,范军,沈桂芬.关于GCNMOS的ESD保护电路的HBM的分析测试[J]辽宁大学学报(自然科学版).2005,(02)
[10]沈桂芬.力敏传感器芯片设计分析[J]传感技术学报.2000,(01)
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