晁晟
【姓名】 晁晟
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 碳氮膜,氢致碳氮膜,碳氮含量比,CNx膜,非晶,碳氮化合物,晶粒间距,振动波,N含量,杂化轨道,晶态,材料科学,兰州大学,C／N,NAKA,金刚石,表征,兰州,碳氮,硬度,
【工作单位】 兰州大学
【曾工作单位】 兰州大学;
【所在地域】 兰州
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[1]刘祖琴,晁晟,王维洁,王天民.碳氮膜的研究进展[J]微细加工技术.1997,(03)
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