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陆景唐
【姓名】
陆景唐
【职称】
【研究领域】
仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】
微机构,IC工艺,微机械,场限制环,最佳环距,摩擦学,微平面,安全环距,高压终端,微型,薄膜型,多晶硅,平面结,安全环,硅微机械,结构设计,铰链,固定铰链,击穿电压,精密机械,基础件,四杆机构,制造过...
【工作单位】
上海科技大学
【曾工作单位】
上海科技大学;
【所在地域】
上海
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共找到1篇
[1]李伟,陆景唐,季超仁,宋汉斌,董鸣,蔡建中.
微平面机构的结构设计与制造
[J]光学精密工程.1993,(06)
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