曾祥林
【姓名】 曾祥林
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 光刻胶,离子束刻蚀,热传导,收缩量,刻蚀过程,线条,离子束,发热程度,位宽度,刻蚀速率,离子束轰击,掩蔽技术,蚀图,旋转台,图形边缘,钻蚀,侧壁,热接触,比表面积,接合处,
【工作单位】 上海交通大学
【曾工作单位】 上海交通大学;
【所在地域】
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[1]曾祥林，宋柏泉，赵小林，蔡炳初.离子束刻蚀过程中光刻胶收缩行为研究[J]微细加工技术.1994,(03)
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