李昌敏
【姓名】 李昌敏
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;计算机软件及计算机应用;自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 DEM技术,微复制,LIGA技术,PMMA,X光深层光刻,微复制工艺,高深宽比,微结构,反应离子刻蚀,光刻胶,刻蚀速率,深层光刻,深刻蚀,反应离子,模压,微电铸,刻蚀过程,模压工艺,自偏压,X光,掩模...
【工作单位】 上海交通大学
【曾工作单位】 上海交通大学;
【所在地域】 上海
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/4 0 2 1 41 693
中国期刊全文数据库    共找到3篇
[1]陈迪,雷蔚,李昌敏,张卫平,蔡炳初.DEM技术中微复制工艺研究[J]微细加工技术.2000,(01)
[2]陈迪,李昌敏,章吉良,伊福廷,周狄,郭晓芸.LIGA技术X光深层光刻工艺研究[J]微细加工技术.2000,(02)
[3]俞爱斌,丁桂甫,杨春生,郭晓芸,李昌敏,毛海平,倪智萍.O_2反应离子深刻蚀PMMA[J]微细加工技术.2000,(03)
更多
中国优秀硕士学位论文全文数据库    共找到1篇
[1]李昌敏.基于RFID的熏蒸管理系统的设计与实现[D].上海交通大学.2010
更多