毛海平
【姓名】 毛海平
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;电力工业;无机化工;
【研究方向】
【发表文献关键词】 钽薄膜,内应力,溅射薄膜,铁芯,PMMA,NiFe合金,非嵌入式,掩模板,绕组线圈,溅射,嵌入式,电磁型微电机,LIGA,反应离子刻蚀,原子,同步辐射光刻,溅射功率,高深宽比,微机电系统,刻蚀速率,X...
【工作单位】 上海交通大学
【曾工作单位】 上海交通大学;
【所在地域】 上海
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