李新永
【姓名】 李新永
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 金刚石薄膜,反应离子刻蚀,微机械加工技术,CVD金刚石薄膜,金刚石,微结构,掩膜,微机械加工,选择性生长,刻蚀速率,MEMS器件,MEMS,金刚石表面,激光刻蚀,技术研究,微机械,RIE刻蚀,自偏压,...
【工作单位】 上海交通大学
【曾工作单位】 上海交通大学;
【所在地域】 上海
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[1]丁桂甫,曹莹,李新永,蒋振新.CVD金刚石薄膜的微机械加工技术研究进展[J]金刚石与磨料磨具工程.2003,(01)
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