陈茵
【姓名】 陈茵
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 快速退火,红外,快速热退火,As离子注入,DLTS,GaAs材料,MESFET,有源层,电学特性,石墨,电子陷阱,外扩散,质量,热退火,激活率,研究结果,退火工艺,载流子浓度,迁移率,衬底材料,
【工作单位】 上海交通大学
【曾工作单位】 上海交通大学;
【所在地域】
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[1]忻尚衡,史常忻,李晓明,陈茵.Si离子注入GaAs的红外快速退火[J]固体电子学研究与进展.1988,(03)
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