蔡荀
【姓名】 蔡荀
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 TiN薄膜,力学性能,制备方法,工艺参数,TiN膜,TIN薄膜,离子镀,脉冲偏压,多弧,沉积温度,PCVD,靶电流,硬度,结合力,基体温度,溅射,磁控,化学气相沉积,镀膜,反应室,
【工作单位】 上海交通大学
【曾工作单位】 上海交通大学;
【所在地域】
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/1 0 1 0 20 481
中国期刊全文数据库    共找到1篇
[1]武咏琴,李刘合,张彦华,胡亚伟,刘佑铭,蔡荀.TiN膜的制备和进展[J]新技术新工艺.2004,(12)
更多