朱文菊
【姓名】 朱文菊
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 均匀器,空间滤波器,光学均,管式,像点,成像物镜,入射光束,刻片,照明,虚光源,滤波器,滤除,精密机械,亚微米光刻,均匀性,曝光不足,空间滤波,准分子,小区域,光场照明,
【工作单位】 上海机械学院
【曾工作单位】 上海机械学院;
【所在地域】 上海
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[1]严琪华,鄢雨,邹海兴,路敦武,朱文菊.用空间滤波器改善光管式光学均匀器的性能[J]光学学报.1993,(11)
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