王润
【姓名】 王润
【职称】
【研究领域】 物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 薄膜,厚膜,厚度,测量精度,大规模集成电路,入射角,椭偏术,折射率,椭偏仪,消光法,椭圆偏振,相干光波,介质膜,透射比,反射比,单层膜,偏振状态,单色光,入射平面,氧化硅,
【工作单位】 上海机械学院
【曾工作单位】 上海机械学院;
【所在地域】
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[1]王润.用双入射角的反射型椭偏术自动测定单层膜厚度[J]上海机械学院学报.1987,(04)
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