宦鸿信
【姓名】 宦鸿信
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 溅射装置,阴极靶,溅射,磁控管,沉积速率,阴极表面,永久磁铁,电子束蒸发,靶材料,离子流,溅射速率,压强,园筒,溅射沉积,磁环,二次电子,倒园,阳极,放电电压,腐蚀区,
【工作单位】 上海电动工具研究所
【曾工作单位】 上海电动工具研究所;
【所在地域】
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/1 0 0 1 0 44
中国期刊全文数据库    共找到1篇
[1]宦鸿信.磁控管式的溅射装置[J]真空.1980,(03)
更多