赵春民
【姓名】 赵春民
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 电子束曝光机,电子束物,偏转系统,扫描场,A／D转换,束斑,畸变,偏转线圈,性畸变,高精度测量,非正交,束流,自动化工程,透镜,物镜,畸变校正,双偏转,山东工业大学,磁偏转系统,磁偏转,积分,透镜电流...
【工作单位】 山东工业大学
【曾工作单位】 山东工业大学;
【所在地域】 济南
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[1]方一兵,赵春民,尹明.电子束物镜分析[J]山东工业大学学报.2000,(01)
[2]魏守水,陈振生,赵春民,张玉林.一种高精度测量束斑电流的新方法[J]微细加工技术.1999,(02)
[3]张明，张玉林，王国瑕，赵春民.电子束曝光机扫描场非正交性畸变校正[J]微细加工技术.1995,(02)
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