徐群
【姓名】 徐群
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 电子束曝光机,电流源,计算机控制,亚微米,电源板,数控,物镜,镜筒,稳定度,单极性,电源系统,束斑,输出电流,电子束技术,偏移电压,抗干扰技术,采样电阻,电子束,信号线,量板,
【工作单位】 山东工业大学
【曾工作单位】 山东工业大学;
【所在地域】 山东济南
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[1]徐群;张玉林;裘培勇;.高稳定度数控电流源系统[J]电测与仪表.1992,(10)
[2]徐群,张玉林,裘培勇.亚微米电子束曝光机数控电流源系统[J]微细加工技术.1992,(03)
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