尹明
【姓名】 尹明
【职称】 高级工程师;
【研究领域】 无线电电子学;物理学;核科学技术;
【研究方向】 MEMS方面的研究
【发表文献关键词】 三维光刻,电子束,IH,抗蚀剂,补偿电路,加速器,像差,高稳定度,可动物镜,电子束曝光机,噪声抑制,邻近效应,近轴轨迹,成像光学,动态校正,偏转系统,扫描系统,畸变,前散射,偏转,背散射,真空,微机电...
【工作单位】 山东大学
【曾工作单位】 山东大学;
【所在地域】 山东济南
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[1]尹明;逄明祥;.LaB_6电子枪的Kramers-Heisenberg散射与Fermi分布[J]光电子.激光.2007,(04)
[2]孔祥东,张玉林,尹明.IH工艺的发展及应用[J]微纳电子技术.2003,(11)
[3]何立琴,尹明.快速数模动态测试[J]山东大学学报(工学版).2003,(04)
[4]程建辉,尹明.电子束曝光机静电偏转系统[J]微细加工技术.2003,(03)
[5]孔祥东,张玉林,尹明.电子束三维光刻技术的研究[J]微细加工技术.2003,(04)
[6]尹明,孙晓军.细电子束Cockcroft-Walton加速器的研究[J]高能物理与核物理.2004,(03)
[7]尹明,张玉林.电子束曝光机偏转系统及可动物镜分析[J]光学学报.2004,(03)
[8]尹明,孙晓军.电子束曝光机大物面强磁透镜的研究[J]光子学报.2004,(04)
[9]尹明,张玉林,程建辉.电子束在MEMS加工中邻近效应的分析与补偿[J]机械工程学报.2004,(09)
[10]尹明,何立琴.电子束背散射与前散射的分析[J]山东大学学报(工学版).2004,(05)
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[1]尹明.新型产业区电网规划设计研究[D].山东大学.2016
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