魏强
【姓名】 魏强
【职称】 副教授;
【研究领域】 无线电电子学;仪器仪表工业;计算机软件及计算机应用;
【研究方向】 微机电系统、精密工件台驱动和控制技术的研究
【发表文献关键词】 电子束曝光,场发射,扫描隧道显微镜,隧道效应,散射模型,二次电子,MonteCarlo方法,低能电子束,抗蚀剂,邻近效应,光刻技术,曲线拟合,MonteCarlo模拟,最小二乘法,电子束光刻,PID控...
【工作单位】 山东大学
【曾工作单位】 山东大学;
【所在地域】 济南
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