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李士玲
【姓名】
李士玲
【职称】
【研究领域】
工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】
脉冲激光沉积,LiNbO3薄膜,光波导,硅衬底,衬底温度,性能研究,折射率,结晶质量,透射电镜,柱状结构,沉积技术,薄膜表面,过渡层,薄膜质量,沉积速率,晶体质量,体单晶,晶粒,二氧化硅,棱镜,
【工作单位】
山东大学
【曾工作单位】
山东大学;
【所在地域】
济南
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共找到1篇
[1]王新昌,叶志镇,李士玲,曹亮亮,赵炳辉.
硅基LiNbO_3薄膜的光波导性能研究
[J]真空科学与技术学报.2005,(04)
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