山本孝
【姓名】 山本孝
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 兰宝石,AlN薄膜,平面磁控溅射,射频,压电,反应性,可伐,AIN薄膜,解理面,溅射,玻璃基片,X射线衍射图,基片温度,频率响应,磁控反应溅射,金膜,中基片,日本京都大学,SAW滤波器,纵声,
【工作单位】 日本京都大学
【曾工作单位】 日本京都大学;
【所在地域】
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[1]盐崎忠,山本孝,川端昭,盛敏华.用反应性射频平面磁控溅射在低温下生长压电AlN薄膜[J]压电与声光.1981,(05)
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