张林涛
【姓名】 张林涛
【职称】 教授;
【研究领域】 无线电电子学;工业通用技术及设备;自动化技术;
【研究方向】 微电子学与固体电子学的研究
【发表文献关键词】 PZT铁电薄膜,PZT,铁电薄膜,微麦克风,微扬声器,微麦克风和扬声器,振膜,溶胶-凝胶,高分辨透射电镜,PT,溶胶-凝胶法,PZT薄膜,夹心结构,锆钛酸铅,硅衬底,界面层,声输出,Sol-Gel法,...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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[3]任天令,张林涛,刘理天,李志坚.新型集成微麦克风和扬声器的结构设计[J]半导体技术.2000,(05)
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[5]张林涛,任天令,刘理天,李志坚,张琪,朱静.硅基PZT铁电薄膜的界面和表面研究[J]压电与声光.2000,(05)
[6]任天令,张林涛,张武全,李春晓,刘理天,李志坚.一种新型硅基PT/PZT/PT夹心结构的电性能研究[J]压电与声光.2000,(06)
[7]张林涛,任天令,张武全,刘理天,李志坚.Sol-Gel法硅基铁电薄膜研究[J]真空科学与技术.2000,(06)
[8]任天令,张林涛,刘理天,李志坚.硅基PT/PZT/PT夹心结构的性能研究[J]电子器件.2000,(03)
[9]任天令,张林涛,刘理天,李志坚.一种新型集成微麦克风和扬声器的设计[J]电子器件.2000,(04)
[10]任天令,张林涛,刘理天,李志坚.硅基铁电薄膜的制备与电性能研究[J]微细加工技术.2000,(04)
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[1]杨轶;张林涛;任天令;刘理天;.压电微传声器的有限元分析[A].首届信息获取与处理学术会议论文集.2003-06-30
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