袁忠远
【姓名】 袁忠远
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 聚焦离子束,液态金属离子源,微细加工,离子源,液态金属,高温处理,镓源,电子轰击,连续光滑,氧化钨,工程系,氧化层,清华大学,真空,螺旋,稳定度,吸附时间,发射特性,吸附量,设备系统,
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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[1]董桂芳,袁忠远,汪健如,应根裕,张克潜.镓液态金属离子源的制备[J]微细加工技术.1998,(03)
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