杨兴
【姓名】 杨兴
【职称】 副研究员;副教授;
【研究领域】 仪器仪表工业;材料科学;自动化技术;
【研究方向】 微纳机电系统和微/纳传感器
【发表文献关键词】 微机电系统(MEMS),纳机电系统(NEMS),压电风扇,微米纳米技术,微型燃料电池,微型气泵,压电陶瓷,微流体,压电驱动,MEMS,膜片式,输出流量,换气方法,结构简单,纳机电系统,理论分析,固有频...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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[8]章城;文东辉;杨兴;郑天祥;.石墨的微加工工艺研究[J]真空科学与技术学报.2018,(02)
[9]罗昆;冷惠文;杨兴;邢玉琪;代建军;.基于力反馈的笔式自动化直写系统研究[J]激光杂志.2018,(09)
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[2]杨兴;.基于碳纳米管阵列敏感结构的压阻特性研究[A].清华大学;.项目经费 33万元.2008-03-20.资助文献数 0
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