阎建华
【姓名】 阎建华
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 砷硅,瞬态退火,后热处理,弛豫特性,固溶度,沟道,红外,位率,载流子浓度,失活,原子,稳态浓度,角分布,产额,后处理条件,特性研究,杂质原子,亚稳态,随机谱,载流,射粒,面密度,背散射,霍耳效应,沟道...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】
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[1]徐立,钱佩信,侯东彦,林惠旺,李志坚,王豫生,阎建华,郑胜男.瞬态退火注砷硅亚稳态浓度的后热处理特性研究[J]半导体学报.1985,(01)
[2]王豫生,阎建华,郑胜男,徐立,钱佩信.注砷硅超固溶度热弛豫特性的沟道研究[J]半导体学报.1985,(02)
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