齐军
【姓名】 齐军
【职称】
【研究领域】 物理学;工业通用技术及设备;
【研究方向】 薄膜材料的研究
【发表文献关键词】 CN_x薄膜,射频磁控溅射,摩擦系数,微动摩擦,摩擦学,负偏压,振动频率,射频磁控,力学性能,振幅,载荷,摩擦学性能,硬度,纳米硬度,薄膜硬度,溅射方法,卸载曲线,接触区,摩擦实验,表面粗糙度,
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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[1]齐军,雒建斌,王静,李文治,温诗铸.离子辅助轰击能量对类金刚石薄膜性能的影响[J]材料工程.2000,(02)
[2]齐军,雒建斌,温诗铸.CN_x薄膜的结构、力学性能和摩擦学性能[J]真空科学与技术.2000,(06)
[3]齐军,王昆林,梁绵长,朱允明.激光打标的标记对比度的分析[J]应用激光.1999,(01)
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