齐臣杰
【姓名】 齐臣杰
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;电力工业;
【研究方向】 微电子机械系统研究
【发表文献关键词】 微涡轮发动机,微发电机,晃动电动机,微执行器,台面法兰盘,微电机,在线测长,MEMS,光电集成,三维电容,微机电系统,摄制光路,线列CCD,微动力,静电电动机,RIE,微电动机,台面结构,微波集成电路...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/7 4 4 4 50 1086
中国期刊全文数据库    共找到7篇
[1]齐臣杰,徐洪涛,谭智敏,钟艳,林宏,刘理天.两步刻蚀多晶硅提高图形陡直度[J]半导体技术.2000,(05)
[2]齐臣杰,谭智敏,刘理天,李志坚.改进微静电马达的摩擦与磨损[J]仪表技术与传感器.2000,(01)
[3]吴国华,齐臣杰.在线测长用CCD光学系统优化模型[J]浙江大学学报(工学版).2000,(03)
[4]张海涛,齐臣杰,刘理天.微波集成滤波器研究[J]功能材料与器件学报.2000,(03)
[5]张海涛,齐臣杰,刘理天.利用MEMS技术制作MMIC的三维电容电感和滤波器[J]世界电子元器件.2001,(05)
[6]齐臣杰,谭智敏,刘理天,李志坚.台面结构硅光电集成微电动机的设计[J]清华大学学报(自然科学版).1999,(S1)
[7]齐臣杰,刘理天,谭智敏.微电机和微动力MEMS[J]电子科技导报.1999,(12)
更多