庞江涛
【姓名】 庞江涛
【职称】
【研究领域】 机械工业;仪器仪表工业;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 微流量泵,集成驱动结构,单晶硅膜,微流量检测,微流量传感器,各向异性腐蚀,微流量,铝硅双金属驱动膜片,补偿,驱动结构,掩膜,微流,八边,流动,量传,微泵,感器,检测功能,系统集成,微阀门,膜片,微型泵...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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[1]尹执中,庞江涛,刘理天,胡桅林,过增元.热驱动薄膜式微型泵[J]清华大学学报(自然科学版).2000,(06)
[2]尹执中,庞江涛,胡桅林,过增元.悬臂梁式微型阀[J]仪表技术与传感器.2000,(03)
[3]尹执中,徐宁,庞江涛,刘理天,胡桅林,过增元,金观昌.热驱动微型泵的实验研究[J]功能材料与器件学报.2000,(02)
[4]庞江涛,刘理天,李志坚.硅集成微型泵系统的优化设计和兼容工艺研究[J]清华大学学报(自然科学版).1999,(S1)
[5]庞江涛,战长青,刘理天.具有微流量检测功能的集成微流量泵驱动结构[J]仪表技术与传感器.1998,(03)
[6]战长青,庞江涛,刘理天,钱佩信.氢氧化钾各向异性腐蚀制作近似圆形单晶硅膜的掩膜补偿技术[J]仪表技术与传感器.1998,(04)
[7]庞江涛,战长青,谭智敏,钱欣,刘理天,李志坚.铝硅双金属驱动膜片形变方向控制及其结构参数的优化[J]功能材料与器件学报.1998,(02)
[8]庞江涛,战长青,谭智敏,钱欣,刘理天,李志坚.微流量泵与微流量传感器的系统集成[J]功能材料与器件学报.1998,(02)
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