陆永枫
【姓名】 陆永枫
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 激光退火,激光功率,预热温度,载流子浓度,氩离子,热退火,高浓度,电激活,砷硅,激活率,固溶度,Ar+激光,载流,衬底温度,衍射图,面密度,杂质分布,右上角,注入硅,分布曲线,
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】
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[1]钱佩信,林惠旺,陆永枫,李冬梅.高浓度注砷和注锑硅的连续氩离子激光退火研究[J]半导体学报.1985,(06)
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