刘小平
【姓名】 刘小平
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 发射体,聚焦离子束技术,镓离子,微细加工技术,液态金属离子源,工艺研究,可加工,设计加工,亚微米级,性能研究,实验结果,液态金属,发散度,电流密度分布,能散,同轴型,电子束,束流,亚微米,离子源,实验...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】
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[1]王克礼,张化一,陈同,渠志灿,刘小平,杨利亚.液态镓离子源的研制与性能研究[J]微细加工技术.1985,(01)
[2]刘小平,陈虹,张化一,王克礼.聚焦离子束微细加工技术实验研究[J]真空科学与技术.1988,(01)
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