霍晓
【姓名】 霍晓
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 微波等离子体,扩散阻挡层,金刚石薄膜,阻挡层,金刚石膜,金刚石,不均匀沉积,放电管,微波等离子体CVD,机理,形貌,碳化物层,基片温度,子体,反应气体,不均匀性,微波源,会议论文集,功率容量,波导过渡...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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[1]霍晓，任家烈，鹿安理.用于合成金刚石薄膜的微波等离子体CVD系统[J]航空材料学报.1994,(03)
[2]霍晓，任家烈，鹿安理.Co扩散阻挡层模型的设计[J]航空材料学报.1996,(04)
[3]霍晓,任家烈,鹿安理.导致金刚石薄膜不均匀沉积的机理[J]金属学报.1997,(06)
[4]霍晓,任家烈,鹿安理.YG6基体上沉积金刚石膜的形貌不均匀性[J]真空科学与技术.1997,(05)
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