顾晓渝
【姓名】 顾晓渝
【职称】
【研究领域】 物理学;仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 表面轮廓,检偏器,干涉图象,光学轮廓仪,微分干涉显微镜,机械振动,高分辨率,垂直分辨率,摄象机,微分干涉,表面微观轮廓,仪器,相位分布,干涉技术,测量结果,干涉光,共光路,参考反射镜,干涉相位,重复测...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】
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[1]高宏，李庆祥，薛实福，顾晓渝.高分辨率光学轮廓仪[J]仪器仪表学报.1995,(02)
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