毕建华
【姓名】 毕建华
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 聚焦离子束,无掩模刻蚀,光电子器件,微细加,束径,束斑,液态金属,聚焦离子束刻蚀,束流,透镜,离子源,微细加工,对中器,光栏,激光器,聚焦电压,无掩模,单级,亚微米,溅射,真空科学,束漂移,主限,消隐...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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[1]毕建华,陆家和.聚焦离子束(FIB)刻蚀在光电子器件方面的应用[J]真空科学与技术.1994,(04)
[2]俞学东，毕建华，陆家和.单级透镜聚焦离子束系统的研究[J]微细加工技术.1994,(03)
[3]俞学东，毕建华，陆家和.可变束流二级透镜聚焦离子束系统的设计[J]微细加工技术.1994,(04)
[4]毕建华,俞学东,陆家和.束流可调的二级透镜亚微米聚焦离子束枪的设计计算和调测结果[J]真空科学与技术.1995,(02)
[5]毕建华，俞学东，陆家和.亚微米聚焦离子束溅射刻蚀的实验研究[J]微细加工技术.1996,(02)
[6]俞学东,毕建华,陆家和.二级透镜聚焦离子束系统及其对中方法[J]清华大学学报(自然科学版).1997,(10)
[7]俞学东,毕建华,刘心红,宋风华,陆家和.亚微米聚焦离子束的漂移现象[J]真空科学与技术.1997,(03)
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