裘培勇
【姓名】 裘培勇
【职称】 教授;
【研究领域】 自动化技术;无线电电子学;数学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 沉积能,电子束曝光,分波法,Monte Carlo方法,电子束曝光机,分布规律,能量沉积,低能电子散射,曝光分辨率,电子光学,像差理论,电流源,沉积能量,几何像差,接近函数,分子量变化,弹性散射截面,...
【工作单位】 山东工业大学
【曾工作单位】 山东工业大学;
【所在地域】 济南
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[1]宋传杰,裘培勇,何延才.电子束曝光中能量沉积过程及沉积能分布规律[J]科学通报.1985,(19)
[2]宋传杰,裘培勇.电子束曝光中能量沉积过程及沉积能分布规律[J]微细加工技术.1986,(02)
[3]杨立才,张涛,裘培勇.电磁复合场中电子成像系统的计算机辅助分析[J]微细加工技术.1991,(02)
[4]谭震宇,裘培勇,何延才,王心磊.应用分波法计算低能电子弹性散射截面[J]计算物理.1991,(02)
[5]徐群;张玉林;裘培勇;.高稳定度数控电流源系统[J]电测与仪表.1992,(10)
[6]谭震宇;宋传杰;裘培勇;.固体中散射电子空间输运的矩阵方程[J]山东工业大学学报.1992,(04)
[7]徐群,张玉林,裘培勇.亚微米电子束曝光机数控电流源系统[J]微细加工技术.1992,(03)
[8]杨立才,张涛,裘培勇.电磁复合场三级几何像差方程的一种数值解法[J]电子学报.1993,(03)
[9]徐群,张玉林,裘培勇.亚微米电子束曝光机数控电流源系统[J]电子学报.1993,(11)
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