孔祥东
【姓名】 孔祥东
【职称】 高级工程师;副教授;
【研究领域】 无线电电子学;物理学;民商法;
【研究方向】 电子束光刻技术、三维微加工技术的研究
【发表文献关键词】 IH工艺,抗蚀剂,三维光刻,立体光刻,IH,电子束,LIGA,曝光剂量,电子束光刻,刻蚀深度,光刻胶,LIGA技术,低聚物,辐射固化,MEMS,电化学微加工,LIGA工艺,微细加工技术,约束刻蚀剂层技...
【工作单位】 山东大学
【曾工作单位】 山东大学;
【所在地域】 山东济南
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[1]孔祥东;冯圣玉;张玉林;.电子束重复曝光加工PCR微通道的工艺研究[J]微纳电子技术.2009,(01)
[2]孔祥东,张玉林,尹明.IH工艺的发展及应用[J]微纳电子技术.2003,(11)
[3]孔祥东,张玉林,尹明.电子束三维光刻技术的研究[J]微细加工技术.2003,(04)
[4]孔祥东,张玉林,魏守水.基于电子束光刻的LIGA技术研究[J]微细加工技术.2004,(01)
[5]孔祥东,孙晓军,张玉林,宋会英.电子束真空辐射固化技术基础研究[J]微细加工技术.2004,(03)
[6]孔祥东,张玉林,宋会英.LIGA工艺的发展及应用[J]微纳电子技术.2004,(05)
[7]孔祥东,张玉林,宋会英,卢文娟.微机电系统的微细加工技术[J]微纳电子技术.2004,(11)
[8]宋会英,张玉林,孔祥东.低能电子束对抗蚀剂曝光的Monte Carlo模拟[J]微细加工技术.2004,(04)
[9]宋会英,张玉林,魏强,孔祥东.电子束曝光中电子散射模型的优化[J]微细加工技术.2005,(03)
[10]宋会英,张玉林,魏强,孔祥东.高能电子束对抗蚀剂曝光的Monte Carlo模拟[J]高能物理与核物理.2005,(12)
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[1]孔祥东.电子束液态曝光技术的研究[D].山东大学.2005
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[1]孔祥东.祭奠权的民法保护[D].山东大学.2007
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