李世直
【姓名】 李世直
【职称】
【研究领域】 金属学及金属工艺;工业通用技术及设备;材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 碳化钛膜,真空计,应用,辅助加热,等离子化学气相沉积,气相沉积,等离子体化学气相沉积（PCVD）,反应气体,PCVD,结合牢度,工艺研究,Ti(CNO)薄膜,显微分析,制备和应用,四异丙基钛,TiN薄...
【工作单位】 青岛化工学院
【曾工作单位】 青岛化工学院;
【所在地域】 青岛
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[1]石玉龙,彭红瑞,李世直.MOPCVD制备Ti(CN)硬膜研究[J]真空科学与技术.2000,(01)
[2]赵程,彭红瑞,谢广文,李世直.等离子体化学气相沉积TiN涂层的后热处理技术研究[J]真空科学与技术.2000,(05)
[3]赵程,彭红瑞,谢广文,李世直.沉积电压对辅助加热PCVD-TiN涂层的影响[J]青岛化工学院学报(自然科学版).2000,(02)
[4]石玉龙,彭红瑞,李世直.Si对TiSiN膜组成结构的影响[J]功能材料.1999,(01)
[5]谢雁,李世直.RF-PCVD沉积参数对TiN沉积速率的影响[J]真空科学与技术.1995,(05)
[6]石玉龙，彭红瑞，李世直.PCVD制备工业硬膜研究[J]微细加工技术.1995,(04)
[7]赵程,彭红瑞,李世直.直流PCVD Ti(C_XN_(1-X))硬质膜及其应用[J]金属热处理.1996,(07)
[8]谢雁,赵程,李世直.外加热式离子氮化高速钢的研究[J]真空.1996,(03)
[9]谢雁,赵程,彭红瑞,李世直.等离子体化学气相沉积反应中对温度因素的控制[J]表面工程.1996,(04)
[10]谢雁,赵程,李世直.辅助外加热方式直流等离子体化学气相沉积TiN的研究[J]表面技术.1997,(03)
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[1]方前锋;李朝升;李世直;Stan Veprek;.振簧法和扭摆法测量薄膜的内耗和弹性模量[A].中国声学学会2002年全国声学学术会议论文集.2002-09-01
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