马谨
【姓名】 马谨
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 X射线光电子谱,半导体清洗,RCA清洗,表面清洗,原子力显微镜,红外吸收谱,清洗工艺,电子谱,X射,线光,红外,吸收谱,清洗技术,光电材料与器件,粗糙化,氧化硅,清洗效果,MOS器件,碳污染,元素组成,
【工作单位】 山东大学
【曾工作单位】 山东大学;
【所在地域】 济南
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[1]曹宝成,于新好,马谨,马洪磊,刘忠立.清洗后硅片表面的电子结构[J]固体电子学研究与进展.2002,(04)
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