山田公
【姓名】 山田公
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 离化团束,溅射,离子照射,团束,剂量,侧向溅射,Si基,气体离化团束,表面清洁化,表面平坦化,辐照,产额,溅射产额,CO_2,束离子,离子束,束团,氧化层,椭圆仪,平坦化,酸处理,角分布,Si表面,沟...
【工作单位】 日本京都大学
【曾工作单位】 日本京都大学;
【所在地域】
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[1]田民波,山田公.CO_2离化团束对Si基板表面的辐照效应[J]半导体学报.1997,(04)
[2]田民波,冯晓东,山田公.CO_2离化团束辐照Si表面形成SiO_2膜的分析[J]半导体学报.1997,(10)
[3]田民波,山田公.气体离化团束溅射研究[J]真空科学与技术.1997,(03)
[4]田民波,山田公.气体离化团束对表面的平坦化及清洁化效果[J]真空科学与技术.1997,(04)
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