清野慧
【姓名】 清野慧
【职称】
【研究领域】 自动化技术;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 纳弧度分辨力,角位移传感器,平均灵敏度标定,敏度,感器,灵敏度标定,小量程,标定间隔,反射棱镜,标定系统,次临界,转台,标定方法,分辨力,标定精度,偏振分光镜,四分之一波片,低频分量,标定结果,精密镜...
【工作单位】 日本东北大学
【曾工作单位】 日本东北大学;
【所在地域】 日本
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[1]刘庆纲,李德春,王战,胡晓东,胡小唐,清野慧.材料表面硬度及形状的AFM分析方法[J]天津大学学报.2003,(02)
[2]马军山,杨永才,张世宙,清野慧.纳弧度分辨力角位移传感器及平均灵敏度标定[J]光学技术.2003,(02)
[3]马军山,王向朝,方祖捷,张世宙,清野慧.精密角度传感器及其标定技术的研究[J]光学学报.2001,(02)
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