张二力
【姓名】 张二力
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 能量转换器,等离子体,热离子,微波离子源,ECR离子源,等离子体密度,等离子体区,快电子,干涉法测量,离子源,鞘层,阴极,电离速度,电子流,微细加工,能级,物理过程,电离,放电室,过渡区,位垒,消电离...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】
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[1]张二力,金佑民.热离子能量转换器中物理过程的分析[J]电子科学学刊.1984,(04)
[2]张二力,吴锦发,甄汉生.用于微细加工的电子迥旋共振微波离子源[J]微细加工技术.1984,(03)
[3]吴锦发,张二力,甄汉生.微波干涉法测量等离子体密度的实验研究[J]微细加工技术.1985,(02)
[4]张二力;甄汉生;吴锦发;.微波等离子体技术在微电子学工艺中的应用[J]真空科学与技术.1985,(06)
[5]管祚尧,张二力,吴锦发,张秀华.微波放电的四极质谱初探[J]真空科学与技术.1986,(05)
[6]甄汉生,吴锦发,张二力.消电离时间法测定等离子体电子温度的研究[J]电子科学学刊.1987,(02)
[7]吴锦发,张二力,甄汉生,管祚尧.微波放电等离子体源的研究[J]电子科学学刊.1987,(05)
[8]吴锦发;甄汉生;张二力;管祚尧;张秀华;周邦伟;.微波等离子体刻蚀应用研究[J]微波.1987,(02)
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