张朝辉
【姓名】 张朝辉
【职称】
【研究领域】 机械工业;无线电电子学;材料科学;
【研究方向】 纳米膜润滑建模与CMP机理
【发表文献关键词】 薄膜润滑,粘度修正,膜厚计算,应力偶,微极流体,向列相分子,有序分子,润滑特性,润滑膜,弹流,全网格近似,微极,润滑性能,线松弛,多重网格法,化学机械抛光,有序膜,弹流润滑,膜厚测量,粘度,材料去除机...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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中国期刊全文数据库    共找到8篇
[1]雒建斌,张朝辉,温诗铸.薄膜润滑研究的回顾与展望[J]中国工程科学.2003,(07)
[2]雷红,雒建斌,张朝辉.化学机械抛光技术的研究进展[J]上海大学学报(自然科学版).2003,(06)
[3]张朝辉,雒建斌,温诗铸.CMP润滑方程的多重网格法求解[J]自然科学进展.2003,(11)
[4]张朝辉,雒建斌,温诗铸.薄膜润滑中的微极流体效应[J]力学学报.2004,(02)
[5]徐进,雒建斌,路新春,张朝辉,潘国顺.超精密表面抛光材料去除机理研究进展[J]科学通报.2004,(17)
[6]张朝辉,雒建斌,温诗铸.纳米级润滑膜的粘度修正与薄膜润滑计算[J]机械工程学报.2001,(01)
[7]张朝辉,温诗铸,雒建斌.薄膜润滑的微极流体模拟[J]机械工程学报.2001,(09)
[8]张朝辉,温诗铸,雒建斌.薄膜润滑中的应力偶效应[J]摩擦学学报.2002,(06)
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中国重要会议全文数据库    共找到3篇
[1]张朝辉;温诗铸;雒建斌;.考虑边界滑移的润滑方程(Ⅰ)——理论推导[A].第七届全国摩擦学大会会议论文集（一）.2002-08-01
[2]张朝辉;雒建斌;温诗铸;.考虑边界滑移的润滑方程(Ⅱ)—计算结果[A].第七届全国摩擦学大会会议论文集（一）.2002-08-01
[3]张朝辉;雒建斌;温诗铸;.考虑抛光垫特性的CMP流动性能[A].全球化、信息化、绿色化提升中国制造业——2003年中国机械工程学会年会论文集（微纳制造技术应用专题）.2003-06-30
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