战长青
【姓名】 战长青
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;自动化技术;机械工业;
【研究方向】 微电子机械系统MEMS研究
【发表文献关键词】 金属膜片,集成驱动结构,微流量泵,单晶硅膜,硅微机械,膜片,铝硅双金属驱动膜片,MEMS,微流量检测,微流量传感器,驱动结构,各向异性腐蚀,微流量,补偿,IC工艺,最大挠度,掩膜,金属膜,金属铝膜,双...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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[1]战长青,罗台秦,刘理天,钱佩信.适合硅微机械系统(MEMS)的集成驱动结构──铝硅双金属膜片[J]半导体学报.1997,(06)
[2]庞江涛,战长青,刘理天.具有微流量检测功能的集成微流量泵驱动结构[J]仪表技术与传感器.1998,(03)
[3]战长青,庞江涛,刘理天,钱佩信.氢氧化钾各向异性腐蚀制作近似圆形单晶硅膜的掩膜补偿技术[J]仪表技术与传感器.1998,(04)
[4]庞江涛,战长青,谭智敏,钱欣,刘理天,李志坚.铝硅双金属驱动膜片形变方向控制及其结构参数的优化[J]功能材料与器件学报.1998,(02)
[5]庞江涛,战长青,谭智敏,钱欣,刘理天,李志坚.微流量泵与微流量传感器的系统集成[J]功能材料与器件学报.1998,(02)
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