余海棠
【姓名】 余海棠
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 四极质谱计,校准,真空室,分压强,涡轮分子泵,极限真空,真空系统,闸板阀,校准系统,研究系统,进样系统,机械泵,离子流,气体种类,抽速,稳定性,限流孔,灵敏度,清华大学,气体成分,
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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[1]查良镇,朱秀珍,陈旭,余海棠.四极质谱计校准和应用研究系统[J]真空科学与技术.1993,(06)
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