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杨子明
【姓名】
杨子明
【职称】
【研究领域】
无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】
溅射离子泵,阳极筒,抽速,磁控管,阳极电压,二元金属,惰性气体,极型,角分布,俄歇电子能谱,内表面,相对灵敏度,阴极板,强度试验,真空性能,磁场强度,清华大学,技术测量,放电特性,相对浓度,
【工作单位】
清华大学
【曾工作单位】
清华大学;
【所在地域】
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共找到1篇
[1]王仁康,杨子明,何炜.
溅射离子泵排氩性能的研究
[J]真空科学与技术.1987,(05)
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