杨晓军
【姓名】 杨晓军
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 抗反射,晶界,活化区,再结晶,反射区,SOI技术,定域,抗反射膜,结晶膜,晶界膜,NMOS,反射率,硅膜,沟道区,栅区,晶向,背栅,熔区,晶膜,空穴迁移率,
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/1 0 0 1 1 13
中国期刊全文数据库    共找到1篇
[1]杨晓军,马腾阁,张继盛,钱佩信.抗反射条定域再结晶方法在SOI技术中的应用[J]半导体学报.1990,(02)
更多