薛实福
【姓名】 薛实福
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;自动化技术;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 力传感器,触针,测量力,轮廓测量仪,片簧支承,原子力显微镜,测量机构,十字片簧弹性支承,隧道传感器,隧道,片簧,台阶测量,有限元法,探针,触觉传感器,SSPDA,红外探测器,加速度计,磁强计,微型光机...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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[1]白立芬,李庆祥,薛实福,王云庆.接触式台阶测量仪弹性支承机构的仿真设计[J]清华大学学报(自然科学版).2000,(08)
[2]白立芬,李庆祥,薛实福,于水.基于LVDT的台阶信号拾取方法研究[J]仪表技术与传感器.2000,(07)
[3]白立芬,李庆祥,薛实福,于水.微型光机电系统及其制作[J]电子工业专用设备.2000,(03)
[4]白立芬,李庆祥,于水,薛实福.十字片簧弹性支承机构的设计[J]机械设计.2001,(03)
[5]白立芬,李庆祥,薛实福,黄成伟.微细台阶测量技术的发展现状[J]电子工业专用设备.2001,(02)
[6]李庆祥,薛实福,徐毓娴,邹莉.用全息凹面光栅作为分光元件的膜厚测量仪[J]仪器仪表学报.1994,(02)
[7]李庆祥，薛实福，徐毓娴，于水.薄膜厚度测量系统[J]电子工业专用设备.1994,(01)
[8]薛实福，李庆祥，王伯雄，徐毓娴，于水.应用SSPDA单频激光干涉仪[J]光学精密工程.1994,(01)
[9]王云庆，李庆祥，薛实福，周兆英.纳米级精度的线宽测量仪[J]光学精密工程.1994,(01)
[10]高宏，李庆祥，薛实福，顾晓渝.高分辨率光学轮廓仪[J]仪器仪表学报.1995,(02)
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中国重要会议全文数据库    共找到1篇
[1]高宏;薛实福;李庆祥;严普强;.光学轮廓仪[A].中国科学技术协会首届青年学术年会论文集（工科分册·上册）.1992-04-01
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