徐杨
【姓名】 徐杨
【职称】
【研究领域】 航空航天科学与工程;无线电电子学;计算机软件及计算机应用;
【研究方向】 科技政策、自主创新、技术标准
【发表文献关键词】 XPS,光开关,F-P腔,MOEMS,氮氧化硅薄膜,PECVD,红外吸收谱,MOEMS技术,硅薄膜,氮氧化,半高宽,子学,微电,清华大学,吸收谱,红外,隔离度,硅杯,复合梁,峰位,插损,IC工艺,键相...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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[5]徐杨,吴霁虹,刘理天,陈兢,董良.基于MOEMS技术的一种F-P光开关的设计与制作[J]半导体学报.2002,(08)
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[1]徐杨.高性能镍基柔性储能器件的研究[D].清华大学.2017
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