徐丰仁
【姓名】 徐丰仁
【职称】
【研究领域】 机械工业;仪器仪表工业;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 静压气浮导轨,气体支承,自吸式气体支承,电子束曝光机,工件台,导轨,支承间隙,自吸式,动特性,气浮导轨,静特性,节流孔,静压支承,工作台,闭式,气腔,气浮,精密工作台,真空吸附,液体静压导轨,抽速,压...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】
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[1]赵立人;徐丰仁;沈钊;.数字定位高速运动工作台[J]半导体设备.1983,(02)
[2]安旭;穆怀哲;徐丰仁;沈钊;.空气静压球面轴承的设计计算与实验研究[J]磨床与磨削.1988,(02)
[3]张翠林,徐丰仁,傅小艺,李友勤.电子束曝光机工件台X向静压气浮导轨的研制[J]微细加工技术.1989,(02)
[4]徐丰仁;.多孔质静压气体轴承设计(上)[J]机床与液压.1989,(02)
[5]徐丰仁;.多孔质静压气体轴承设计(下)[J]机床与液压.1989,(04)
[6]潘晋;徐丰仁;沈钊;.精密工作台气体静压轴承的有限元分析[J]机床与液压.1989,(06)
[7]潘晋,徐丰仁,沈钊.自吸式气体支承静特性的研究[J]电子工业专用设备.1990,(02)
[8]潘晋;沈钊;徐丰仁;周昌恩;.精密工作台自吸式空气支承的研究[J]机床与液压.1992,(03)
[9]潘晋,徐丰仁,沈钊.自吸式气体支承动特性的分析[J]电子工业专用设备.1992,(01)
[10]潘晋;沈钊;徐丰仁;周昌恩;.自吸式气体支承的理论分析与实验研究[J]光学机械.1992,(05)
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中国重要会议全文数据库    共找到1篇
[1]潘晋;沈钊;徐丰仁;.粗糙表面气体静压润滑轴承的研究[A].第五届全国摩擦学学术会议论文集（下册）.1992-09-01
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