吴庭棣
【姓名】 吴庭棣
【职称】
【研究领域】 物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 电子回旋共振(ECR),化学汽相沉积,共振吸收,P-CVD,层应力,膜应力,Si_3N_4,测试研究,4膜,CVD方法,应力值,压应力,N原子比,功率增加,不平整度,无线电电子学,磁场分布,张应力,X...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】
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[1]周邦伟,吴庭棣,甄汉生,吴锦发,董清云.MP-CVD-Si_3N_4膜应力测试研究[J]清华大学学报(自然科学版).1987,(04)
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