王子旸
【姓名】 王子旸
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 微反射镜,微光机电系统,镜面,硅工艺,转角度,基于体,光学仪器,吸合电压,激光,物理,原理性,驱动电压,吸合,回复力矩,偏转力矩,激光测振仪,最大偏转,固有频率,扭梁,驱动电,
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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[1]王子旸,徐永青,杨拥军,尤政,任大海.基于体硅工艺的微反射镜的原理性实验[J]清华大学学报(自然科学版).2004,(08)
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