王玉花
【姓名】 王玉花
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 Schottky结,PtSi薄膜,肖特基结,炉退火,PtSi,固相反应,势垒高度,导电薄膜,肖特基,离子溅射,金属蒸汽真空弧,Pt/Ti,硅化物,大束流,离子注入,电学特性,Co离子注入,CoSi,快...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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[1]王燕,田立林,王玉花,李英,李志坚.大束流Co离子注入形成CoSi_2/Si Schottky结的特性[J]清华大学学报(自然科学版).2003,(04)
[2]李英,王玉花,王燕,田立林.大束流离子注入形成P-SiCoSi_2/Si肖特基结的电学特性[J]固体电子学研究与进展.2005,(01)
[3]王玉花,王燕,田立林.Pt/Ti/Si三元固相反应生长PtSi过程的实验研究[J]微电子学.2002,(06)
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