孙曦庆
【姓名】 孙曦庆
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 多晶硅,微静电马达,振荡器,转子,微马达,硅基集成,硅梁,开关,结构改进,晃动马达,微硅梁,吸合,法兰,电开关,牺牲层,静电,硅膜,静电驱动,复合膜,多晶,固定边,掺磷,光伏器件,轴承,微电,马达转速...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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[1]孙曦庆，谢会开，刘理天，李志坚，钱佩信.一种硅基集成微晃动马达[J]半导体学报.1995,(02)
[2]谢会开，孙曦庆，刘理天，李志坚.硅基集成微马达的研制[J]仪器仪表学报.1995,(S1)
[3]孙曦庆,李志坚,费圭甫,刘理天.一种结构改进了的硅基微静电马达[J]半导体学报.1993,(07)
[4]孙曦庆,李志坚,费圭甫.微多晶硅梁开关振荡器[J]半导体学报.1993,(06)
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