山静
【姓名】 山静
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硅膜,激光再结晶,CMOS,集成电路工艺,NMOS,性能研究,硅层,多晶,再结晶,环形振荡器,二氧化,硅栅,单晶片,三维集成电路,子学,转移特性,激光功率,瞬态退火,激光照射,反相器,
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】
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[1]钱佩信,马腾阁,山静,赵寅鹏,陈必贤,林惠旺.三维CMOS集成电路工艺及其性能研究[J]半导体学报.1986,(06)
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